21世紀最全面的石墨加熱棒怎么連接方法已普及

本實用新型屬于高溫燒結爐技術領域，具體涉及一種利用石墨加熱棒加熱的高溫真空燒結爐。

上面提及的高溫真空燒結爐是在“工欲其善必先利其器”的背景下誕生的，以屬于類金剛石氮化物范疇的氮化鋁(ALN)基片為例，由于其具有并非限于以下諸方面的長處:熱導率高，約為20W/m.k，接近BeO和SiC，并且是A1203的五倍以上；熱膨脹系數(shù)小，在4.5X106°C，與Si (3.5?4X10 6°C)以及GaAs (6X 10 6°C )相當；電性能特性優(yōu)異，具體而言，介電常數(shù)、介質損耗、體電阻率和介電強度十分優(yōu)異；機械性能理想，抗折強度高于A1203和BeO陶瓷；純度高、光傳播持性好和無毒；等等，因而受到人們的器重。但是，由于氮化鋁的燒結溫度較高，約在2000°C左右，因而不論是爐體結構還是加熱裝置以及與爐體相關的輔助設施均具有嚴苛的要求，也就是說常規(guī)的高溫燒結爐無法勝任對氮化鋁或類似材料的高溫燒結。